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          射頻電源

          直流電源

          匹配器

          遠程等離子

          備品

          RF CABLE

          AE NAVIGATOR 系列
          KYOSAN MBK / BJK / CMK / KMK 系列
          DAIHEN RMN / AMN 系列
          MKS/ENI
          NEW POWER PLASMA NPM 系列
          AKT FIXED / PRESET MATCH
          PLASMART
          AMAT P5000
          LAM OB1 (ONE BOX)
          MATTSON RFS 系列
          ASE 系列
          DAIHEN FRM&HRM 系列
          ULVAC 系列